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    日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐

    更新時間:2023-11-13

    簡要描述:

    合測實業為日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐一級代理商/特約經銷商。DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐最高工作溫度500℃、潔凈度100 級、氧濃度低于20ppm,主要應用于固化半導體晶圓(光刻膠PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。

    型號:廠商性質:代理商瀏覽量:906

    日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐產品特點:

    潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應用于固化半導體晶圓等。

    最高工作溫度500℃。

    采用耐熱高性能高效過濾器,可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。

    高氣密性的壓力箱構造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量極低。

    磁密封保持高氣密性,采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。

    可實現快速升溫和降溫,升降溫速率可調節。

    標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收。

    日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術參數:

    型號DTN450CDTN650C
    外形尺寸(寬× 深× 高mm)1240×1010×1750 1450×1060×1960
    內尺寸(寬× 深× 高mm)450×450×450660×500×660
    內部容積91L216L
    溫度范圍室溫+50 ~ 500℃
    溫度調節精度±1.0℃(at500℃)
    溫度分布精度±8.0℃(at500℃)
    最高溫度到達時間約110 分
    氧濃度20ppm 以下
    氧濃度到達時間≤ 20 分(250L/min 氮氣)≤ 25 分(250L/min 氮氣)
    潔凈度溫度恒定時100 級
    加熱方式不銹鋼加熱管
    冷卻機構不銹鋼冷卻水換熱器
    HEPA 過濾器集塵效率:0.3um 粒子99.97% 以上
    排氣口40KF 法蘭
    氮氣入口Rc1/2
    冷卻水入口Rc3/4
    熱水出口Rc3/4,2 個
    電源(50/60Hz)額定電流  3 相AC380V 20A3 相AC380V 27A

    安全性:

    門檢測開關

    溫度過升防止器

    氧濃度異常安全裝置

    氮氣壓力檢測

    氮氣流量檢測

    冷卻水流量檢測

    漏水傳感器

    過電流漏電漏電保護開關


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